Poškození elektrostatického napětí na výrobních linkách polovodičů a IC
1. Elektrostatické napětí na výrobních linkách polovodičů a IC
1 na sobě nylonové oblečení, plastové základny se pomalu pohybují po čisté podlaze, lidské tělo přinese napětí 7KV-8KV
2 Když se krystalový nosič vyrobený ze skleněných vláken posouvá přes polypropylenový stůl, je snadné generovat 10KV statickou elektřinu.
3 oplatky montážní linky: oplatky 5KV, oplatky naložení 35KV, pracovní oděvy 10KV, stolní 10KV, plexisklo kryt 8KV, křemenný krystal 1.5KV, oplatka zásobník 6KV \ t
4 lito plastová podlaha 500V-1000V, kovová mřížková podlaha je také 500V-1000V, difuzní místnost plastová podlaha 500V-1500V dlažba je také 500V-1500V, plastová stěna povrch je asi 700V, plastový strop 0-1000V, hliníková deska výstup vzduchu, zpět Vzduchový vývod 500V-1000V, kovový pohyblivý kožený povrch židle 500V-3000V
2. Elektrostatická nebezpečí na výrobních linkách polovodičů a IC
1 Nebezpečí elektrostatické síly Coulomb: Prach a nečistoty adsorbované elektrostatickou sílou Coulomb mohou způsobit komponenty, které mohou způsobit únik nebo zkrat, což může zhoršit výkon a výrazně snížit výnos. Pokud je velikost částic prachu> 100 μm, šířka hliníkového drátu je asi 100 μm a tloušťka filmu je menší než 50 μm, produkt je s největší pravděpodobností vyřazen. K tomu většinou dochází v procesech korozního čištění, fotolitografie, bodového svařování a balení.
2 Nebezpečí způsobené elektrostatickým výbojem: Jsou-li tisíce desítek tisíc voltů vysoce potenciálních objektů, pulzní výboj nebo jiskrový výboj, když do země proudí velmi vysoký výbojový proud, pulzní proudový špičkový proud je tvořen při 20A. Elektrostatický výboj (ESD), který způsobuje značný dopad, je také doprovázen emisemi elektromagnetických vln, které způsobují různá nebezpečí.
A, MOSIC a další polovodičová zařízení budou elektrostaticky vybitá (ESD) nebo poloviční porucha. Brána tranzistoru MOS pole je vyjmuta z oxidového filmu a mezi bránu a substrát je vložen oxidový film. Když napětí mezi branou a substrátem překročí určitou hodnotu, oxidový film se rozpadne, pokud je MOSIC, pak jsou všechny vyřazeny. Když je napětí aplikováno na UB = 50-100V, oxidový film bude rozdělen, protože kapacitní odpor hradla je velmi malý (asi několik pikofaradů) a vstupní odpor je velmi vysoký (asi 1014Ω nebo více). Malé množství náboje vytvoří velmi vysoké napětí a náboj bude obtížné klesnout. Pokud je větší než 50V (bez ochrany), vyhoří. Proto, pokud se osoba dotkne mřížky, bude složka rozbitá, protože je běžné, že lidé účtují více než 50V. .
Rozumíme citlivosti integrovaných obvodů na statickou elektřinu. Rozdíl mezi různými čipy spočívá v tom, že mohou odolat různým hodnotám statického napětí. V praktických podmínkách se statické napětí téměř 20V přímo dotýká zařízení, aby došlo ke zničení nebo snížení výkonu.
Elektrostatické výboje poškozují komponenty, které činí celou desku plošných spojů nepoužitelnou, což vede k ekonomickým ztrátám;
Hluk elektrostatického výboje způsobuje poruchu nebo poruchu zařízení a nepřímého vybití. Výsledkem měření vybití kondenzátoru, vedle generování velkého pulsu přechodového proudu, je také silný šum přes několik megahertzů nebo dokonce stovek hertzů. V posledních letech dosáhl velký pokrok základní výzkum selhání počítače způsobený elektrostatickým výbojem.
Když elektromagnetické vlny generované během vybíjení vstupují do přijímače, je generován šum, který ruší signál, aby se snížila kvalita informací nebo způsobily chyby informací.
3, nebezpečí elektrostatické indukce
Objekt indukovaný statickou elektřinou je zcela ekvivalentní nabitému tělesu a jsou zde elektrostatické jevy a jevy výboje. Pokud odpor snímaného objektu je malý dobrý vodič, dojde k výboji jiskry a způsobí škodu.
A. V dílně výrobního provozu.
V blízkosti vysokonapěťového zařízení a vedení, když personál obsluhuje svařování, zařízení MOS nebo MOSSI, v důsledku elektrostatické indukce, je snadné způsobit elektrostatické vybití lidského těla do zařízení, čímž dojde k poškození zařízení.
B. Proud vzduchu klimatizací (tok iontů) přepravovaný potrubím je ekvivalentní nabíjení, když lidské tělo fouká. Když je lidské tělo v kontaktu s citlivými součástmi, elektrostatický výboj poškodí poškozené zařízení.
4. Elektrostatické ohrožení výrobního procesu elektronických zařízení
Všechny aspekty výroby stroje budou mít elektrostatické poškození. Mezi hlavní vazby patří: nákup a přeprava zařízení; kontrola a přejímka zařízení do továrny; Skladování a vychystávání zařízení; vložení a pájení zařízení; montáž a kontrola výrobků; balení a dodání produktu.
Kromě zničení statické elektřiny při výrobě elektronických součástek a elektronických zařízení je tato při statické elektřině během používání výrobku také vystavena statické elektřině. Stručně řečeno, poškození způsobené statickou elektřinou stačí k tomu, aby výkon elektronických zařízení a elektronických zařízení nebyl naladěn a poškození elektronických zařízení a zařízení nelze ignorovat.