Podmínky použití iontových ventilátorů v high-tech výrobě
Změna technologie zatížení iontového ventilátoru ovlivní statickou kontrolu izolačních materiálů při výrobě high-tech produktů. Kontrola statické elektřiny je základem pro zlepšení efektivity výroby, zlepšení kvality a zvýšení zisku. Při výrobě polovodičů, pevných disků a plochých displejů (FPD) je elektrostatické řízení jednou ze základních výrobních podmínek. Neschopnost regulovat statickou elektřinu znamená, že výrobky trpí velkou iontovou kontaminací (problém ESA) a elektrostatickým výbojem (problém ESD) způsobeným elektrostatickou přitažlivostí.
Organizace jako ESD Association a Semiconductor Equipment and Materials International mají statické řídicí systémy, které eliminují statické problémy. Hlavní metodou je použití statických vodivých materiálů a statických disipativních materiálů (včetně lidského těla) k přímému připojení k zemi k rozptýlení statické elektřiny. Samotný výrobek i pracovní prostředí však nevyhnutelně používají izolační materiály.
Pokud je izolace nedílnou součástí samotného materiálového výrobku, nemůžete ji vyměnit. Například křemíkové destičky s oxidovými vrstvami se používají při výrobě high-tech produktů, jednovodičových zařízení zapouzdřených v epoxidových pryskyřicích, izolačních materiálů na čepech zařízení, epoxidových desek plošných spojů a skleněných tabulí v průmyslu FPD. Kromě toho jsou teflon, křemen a mnoho plastových materiálů odolné proti vysokým teplotám, korozi a kompatibilní s čistými prostory, ale všechny jsou izolační materiály. Uzemnění nevylučuje statické náboje na izolačních materiálech, takže ve většině případů je jedinou zbývající možností neutralizace ionizací vzduchu. To vyžaduje použití speciálního zařízení pro eliminaci statické elektřiny.