Aplikace iontového ventilátoru v polovodičovém průmyslu


V laboratoři výroby polovodičových zařízení je výtěžek ultra velkého integrovaného obvodu značně snížen díky adsorpci prachu na čipu. Pracovníci výrobních dílny nosí čisté kombinézy. Pokud je lidské tělo nabité statickou elektřinou, snadno absorbuje prach a nečistoty, což ovlivní kvalitu výrobku, zhorší výkon produktu a výrazně sníží výtěžnost. Je-li poloměr adsorbovaných prachových částic větší než šířka čáry a tloušťka filmu je nižší, je výrobek s největší pravděpodobností vyřazen. V procesu zpracování a balení je nutné vytvořit elektrostatický ochranný systém. Výrobní linka obalů IC má přísnější požadavky na statickou elektřinu. Aby bylo zajištěno řádné fungování výrobní linky, celková dekorace antistatických stavebních materiálů pro čistou továrnu a hardwarová opatření pro antistatické oděvy pro všechny pracovníky vstupující a opouštějící čistou továrnu, obalový podnik mohou vycházet z příslušných vnitrostátních norem a skutečné situace podniku. Společnost stanovila podnikový standard nebo specifické požadavky na antistatické vlastnosti, které odpovídají normálnímu provozu obalové linky. Je také požadován iontový ventilátor, který snižuje hromadění statické elektřiny a zabraňuje pronikání výrobku do nevědomky.

