Elektrostatická ochrana při výrobě polovodičů
V procesu výroby polovodičů je nutná prevence a kontrola statické elektřiny. Pokud se neprovádí prevence a kontrola statické elektřiny, dojde k problémům, jako je znečištění částicemi, poškození polovodičů v důsledku elektrostatického výboje a vypnutí souvisejícího zařízení. Statický program prevence a kontroly elektřiny v procesu výroby polovodičů zahrnuje: uzemnění, statické disipativní materiály a ionizační ionizační ionty vzduchu. Aby byly splněny požadavky způsobené rychlým rozvojem polovodičového průmyslu, neustále se mění i statické disipativní materiály a vzduchové ionizátory.
Nutnost statického řízení ve výrobě polovodičů
V oblasti výroby polovodičů není možné zcela eliminovat negativní účinky statické elektřiny. I při statické ochraně je obtížné udržet vysokou úroveň kvality a výtěžnosti výrobků. Pokud však chybí statická kontrola, znečištění částicemi, poškození elektrostatickým výbojem a selhání zařízení, jsou tyto problémy při výrobě křemíkových substrátů a fotomasek, v čisté místnosti před polovodičem a v následných procesech včetně montáže, balení a závěrečného testování a přepravy. Může se to stát kdykoli, což vážně ovlivňuje kvalitu polovodičových výrobků.
Polovodičová statická řídicí metoda
V prostředí výroby polovodičů, ať už v přední čisté místnosti nebo v zadní zkoušce, montáži a balení, by mělo být použito uzemnění vodičů a statických disipativních materiálů. Uzemnění zabraňuje výrobě statické elektřiny na izolovaných vodičích a statických disipativních materiálech. Pokud tyto materiály nesou statickou elektřinu, mohou také odnést statickou elektřinu. Každý vodivý materiál, včetně personálu, vybavení, továrních povrchů (podlahy, stěny, stropy a pracovní plochy) a výrobky, by měl mít spolehlivé uzemnění. Tyto pozemní terminály by měly být pravidelně kontrolovány. Některé neulomené vodiče jsou obvykle statické výbojky zdroje.
Statické disipativní materiály rozptýlí statické náboje při zachování vlastností určitých izolačních materiálů (jako je flexibilita a chemická odolnost). Pokud jsou spolehlivě uzemněny, nezachovávají statický náboj. V některých aplikacích (například stolních počítačích nebo testovacích zásuvkách) mohou tyto materiály nahradit materiály vodičů. V těchto aplikacích mohou přijít do styku s elektrostaticky nabitými výrobky. Vysoká odolnost statických disipativních materiálů (typicky v rozmezí 10 ^ 4 až 10 ^ 11 ohmů) může zpomalit proces pohybu náboje, aby se zabránilo elektrostatickému výboji. Statické disipativní materiály musí být pravidelně kontrolovány a testovány. Mnohé z těchto materiálů nejsou kompatibilní s čistými místnostmi a statické rozptylové vlastnosti se v průběhu času mění, takže musí být při jejich použití správně vybrány.