Statická ovládání čistého pokoje
1. Základní principy statické kontroly
(1) Určete úroveň statické kontroly (2) minimalizujte generování statického náboje (3) výboje a neutralizujte pro urychlení rozptylu statického náboje a zabrání statické akumulaci (4) chránit produkty před poškozením ESD
2. Určete úroveň statické kontroly
(1) Klasifikace statické citlivosti komponent, sestav a zařízení
Úroveň 1: náchylná k 0-1999 v statickém napětí
Úroveň 2: náchylná k 2000-3999 V statické napětí
Úroveň 3: Snížitelná na 4000-5999 V Statické napětí Pokud je citlivé statické napětí větší než 16000V, nejsou vyžadována žádná antistatická opatření .
(2) Klasifikace pracovních oblastí elektrostatického ochrany
Třída A: Elektrostatický potenciál na zem nesmí být více než ± 100 V
Třída B: Elektrostatický potenciál na zem nesmí být více než ± 1000V . Ve skutečném inženýrství existují tři úrovně elektrostatického potenciálu ne více než 100V, 500V, 1000V atd.
3. Minimalizujte generování statické elektřiny
Toto je první krok ve třístupňovém procesu kontroly statické elektřiny . V tomto vyčištěném pracovním prostředí jsou nejlepšími opatřeními:
(1) Pokuste se použít zařízení s podobnými vlastnostmi ke snížení výroby statické elektřiny během procesu kontaktu, tření a separace;
(2) Pokuste se použít zařízení s elektrostatickým vodivým nebo elektrostatickým disipativním materiálem, aby se snížila akumulaci statické elektřiny během procesu kontaktu, tření a separace;
(3) Pokuste se použít výrobní procesy, které snižují generování statické elektřiny v důsledku kontaktu, tření a oddělení .
4. Výboj a neutralizace
Toto je druhý krok ve třístupňovém procesu kontroly statické elektřiny . Nejběžnějšími opatřeními v čisté místnosti mikroelektroniky jsou uzemnění pomocí vodivých nebo disipativních materiálů k vypouštění statické elektřiny a ionizaci eliminátorů k neutralizaci statické elektřiny .
(1) Grounding The clean room should have an independent electrostatic grounding system (including the ground grounding metal mesh system and the production line workstation grounding system) so that all metal housings of equipment in the room, metal brackets of mobile equipment, anti-static equipment, etc. can safely and effectively discharge static charges to the ground. The staff's charge is grounded through the wrist strap, and then discharged na zem přes anti-statickou podlahu přes statické boty nebo patníky popruhy . země, stěny, stropy, oddíly atd. . jsou tvrdé uzemnění, zatímco uzemnění zařízení (automobily, žije, police atd. .), .} {{{{{{{}}} {{{8})
(2) Ionized electrical appliances There are always some insulated conductors and insulating dielectric materials (such as most ordinary plastics) that cannot be grounded on the components, PCBs, production lines, and workstations produced and assembled in the clean room. In some environments, ionized electrical appliances are often used to locally dissipate the static charges on these objects, and more often, air ionization is Používá se k neutralizaci statických nábojů na izolačním médiu a izolovaných vodičích .
(3) vodivé a disipační materiály
Vodivé a disipativní materiály jsou také dobrými materiály pro vybíjení statické elektřiny kvůli jejich vodivosti . Jsou také bezpečnější než kovové vodiče . Obvykle se používají jako antistatické vybavení, jako jsou podlahy, stěny, dílníbeny, kontejnery pro obrat, pinzery a kartáče .
5. Prevence ESD
Ochrana produktů je posledním krokem ve třístupňovém procesu kontroly statické elektřiny . v čisté místnosti mikroelektroniky, aby se zabránilo ESD, aby se vyskytovala staticky citlivé komponenty nebo sestavy a PCBS, jedna metoda je poskytovat vhodné uzemnění nebo souhrnné komponenty a sestavení na produkty; another method is to use appropriate packaging methods and materials to handle the packaging and transportation of static-sensitive devices. These materials can effectively shield the charge from invading the product and reduce the static electricity generated by the product moving in the packaging box. This is a warning to component users, telling you the environmental control requirements that can be needed when manufacturing equipment, whether for personnel or Zařízení . Pokud napětí povolené v oblasti EPA dosáhne 25V, obávám se, že naše stávající antistatické vybavení, vybavení, nástroje a inženýrství bude muset projít spoustou tvrdé práce .